使用深度可变光栅研究可见光波段的共振传输效应

本文重点介绍了基于可变深度光栅的对称“绝缘体-金属-绝缘体”衍射系统中与深度有关的可见光波段透射效应。本文在实验和理论上研究了在TM和TE偏振中的上述效应。 特别地，实验证实了存在一个用于等离激元介导的共振传输的最佳光栅深度，并讨论了TE和TM传输行为的差异。本文利用一种简单而灵活的制造方法，基于双光束干涉光刻曝光的图案，在绝热过程下深度快速合成变迹结构。本研究为基于传输的光学安全元件和生物传感器领域提供了基础。

深度可变金属光栅的三个制造步骤的示意图（1-抗蚀剂沉积和光刻工艺； 2-叠加金属层； 3-抗蚀剂沉积）。