能够激发局域表面等离子体共振(LSPR)的结构被广泛应用于许多光有源器件中,以提高光响应。然而,大多数LSPR只能在很小的光谱范围内产生,并且具有特定的偏振特性。近日,来自国立台湾大学的研究人员们展示了具有超宽带响应的LSPR。利用这种LSPR进行光检测还探索到了一个覆盖可见光到中红外的光谱范围。由倒金字塔阵列结构诱导的强LSPR使得基于硅的肖特基光电探测器即使在能量低于肖特基势垒高度的情况下也能探测到光子,使得实验测量范围从300 nm到2700 nm,甚至理论估计预测响应超过4000纳米。
图:硅基IPAS基片的制造过程