6GHz声表面波的扫描x射线衍射显微镜

       基于同步加速器的扫描x射线衍射显微镜(SXDM)是一种理想的无损检测工具，它可以直接测量纳米器件局部应变分布和探索纳米应变动力学行为。在过去，它被应用于长波长的声表面波（SAWs）时间分辨动力学的可视化和探测。

       随着SAW器件往小型、高频和量子化发展，传统的测量手段如电射频反射或透射测量、激光干涉测量或原子力显微镜等方式已经很难满足要求。由于阻抗匹配问题，电学测量方式往往伴随着高频增加与幅值强度降低的矛盾。

       近日，德国莱布尼茨研究所的S. Ludwig教授团队应用扫描x射线衍射显微镜，直接以高横向空间分辨率绘制了在砷化镓表面附近产生的完整应变场，波长λ为500 nm，对应的频率接近6 GHz。作者发现垂直于表面的晶格畸变与传播方向上的晶格畸变相比发生了相移，测量结果与模拟结果高度一致。相关工作发表在《PHYSICAL REVIEW APPLIED》上。（郑江坡）

       文章链接：10.1103/PhysRevApplied.19.024038